¹Ì±¹ÀÌ Áß±¹¿¡ ´ëÇÑ ÀΰøÁö´É(AI) ¹ÝµµÃ¼¿ë °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM)ÀÇ °ø±ÞÀ» Á¦ÇÑÇÏ´Â Ãß°¡ Á¦Àç °¡´É¼ºÀ» ½Ã»çÇϸé¼, Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ±äÀå ¼Ó¿¡¼ »óȲÀ» ¿¹ÀÇÁÖ½ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´çÀå ½ÇÀû¿¡ ¹ÌÄ¥ ¿µÇâÀº Á¦ÇÑÀûÀÌÁö¸¸, ÇâÈÄ ½ÃÀå ÁøÃâ ±âȸ¸¦ Àâ´Â µ¥ ¾î·Á¿òÀ» °ÞÀ» ¼ö Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. Áß±¹ ¿µ¾÷ÀÌ ¸·È÷¸é HBM ½ÃÀå ÀüüÀûÀÎ ¼ö¿ä °¨¼Ò, °¡°Ý Ç϶ôÀ¸·Î À̾îÁ® ȸ»ç ¼öÀͼº¿¡ ¾Ç¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´Ù.
![](https://cphoto.asiae.co.kr/listimg_link.php?idx=2&no=2024032211000414239_1711072804.jpg) 11ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀº ¾Ù·± ¿¡½ºÅ׺£½º ¹Ì »ó¹«ºÎ »ê¾÷¾Èº¸Â÷°üÀÌ "HBMÀ» Áß±¹ÀÌ ¾Æ´Ñ ¹Ì±¹°ú µ¿¸Í¿¡ °ø±ÞÇØ¾ß ÇÑ´Ù"´Â ÃëÁö·Î ÇÑ ¹ß¾ðÇÑ °ÍÀÌ ´çÀå Áß±¹ Ãß°¡ Á¦Àç¿¡ µé¾î°£´Ù´Â ¶æÀÎÁö È®ÀÎ ÁßÀÌ´Ù. À̳¯ ¹ß¾ðÇÑ HBM»Ó ¾Æ´Ï¶ó °ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå(GAA) °øÁ¤ µî¿¡ °üÇÑ Ãß°¡ Á¦Àç¿¡ µé¾î°¥ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °üÃøµµ ³ª¿À°í ÀÖ¾î ¾÷°è´Â ±äÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. GAA °øÁ¤Àº »ï¼ºÀüÀÚ µð¹ÙÀ̽º¼Ö·ç¼Ç(DS)ºÎ¹® ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê)»ç¾÷ºÎ¿Í TSMCÀÇ ÁÖ¿ä ±â¼úÀÌ´Ù. ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "Áö±ÝÀº ¾î¶² »çÇ×µµ È®ÀÎÇÒ ¼ö ¾ø´Ù"¸ç ¸»À» ¾Æ²¼´Ù.
ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºÀÇ ´ëÁß HBM ¼öÃâ·®Àº ¸¹Áö ¾ÊÀº °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ¼¼ºÎ µ¥ÀÌÅÍ´Â °ø°³Çϱ⠾î·Æ´Ù´Â ÀÔÀåÀÌ´Ù. ´Ù¸¸ µÎ ȸ»çÀÇ Áß±¹ ¸ÅÃâÀº ´Ã°í ÀÖ´Ù. Áß±¹ÀÌ ¹Ì±¹ Á¦Àç°¡ ´õ ½ÉÇØÁö±â Àü¿¡ HBM µî Çѱ¹ Á¦Ç° »çÀç±â¿¡ µé¾î°¬´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿À´Â ¹è°æÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº°¡ Áö³´Þ °ø½ÃÇÑ ¹Ý±âº¸°í¼¿¡ µû¸£¸é »ó¹Ý±â »ï¼ºÀüÀÚ Áß±¹ ¸ÅÃâÀº 32Á¶3452¾ï¿øÀ¸·Î Áö³ÇØ »ó¹Ý±â(17Á¶8080¾ï¿ø) ´ëºñ µÎ ¹è °¡±îÀÌ ´Ã¾ú´Ù. ½º¸¶Æ®Æù, °¡Àü µî ´Ù¸¥ Á¦Ç°µµ Æ÷ÇÔµÈ ¼öÄ¡Áö¸¸ Áß±¹ ½ÃÀå¿¡¼´Â ´ëºÎºÐ ¹ÝµµÃ¼·Î ¸ÅÃâÀ» ´Ã¸° °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. SKÇÏÀ̴нºµµ »ó¹Ý±â 8Á¶6061¾ï¿ø ¸ÅÃâÀ» Áß±¹¿¡¼ ³Â´Ù. Áö³ÇØ °°Àº ±â°£ 3Á¶8821¾ï¿øº¸´Ù µÎ ¹è ÀÌ»ó ´Ã¾ú´Ù.
Áß±¹¿¡¼ HBM ¼ö¿ä°¡ ´Ã¸é HBM °¡°ÝÀÌ ¿Ã¶ó »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî °ø±Þ ¾÷ü ¼öÀͼºÀ» ³ôÀÌ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÈ´Ù. ¹Ý´ë·Î ¹Ì±¹ Á¦Àç ¶§¹®¿¡ Áß±¹ HBM ½ÃÀå ¼ºÀå µ¿·Â(¸ð¸àÅÒ)ÀÌ ¶³¾îÁö°í ¼ö¿ä°¡ ±Þ°¨ÇÏ¸é °ø±Þ ¾÷ü¿¡ ºÎÁ¤ÀûÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹Ì±¹ ´ëÁß ¹ÝµµÃ¼ Á¦Àç ¹üÀ§°¡ È®´ëµÇ´Â Á¡, 11¿ù ¹Ì ´ë¼±¿¡¼ ¾î´À È帰¡ ´ç¼±µÇ´õ¶óµµ Áß±¹°úÀÇ "°(Ë)´ë°" ±âÁ¶°¡ À̾îÁú °¡´É¼ºÀÌ Å©´Ù´Â Á¡ µîµµ ¿ì·Á½º·´´Ù´Â ¸»ÀÌ ³ª¿Â´Ù.
¿¡½ºÅ׺£½º Â÷°üÀÌ ¸ÖƼÆÐÅÍ´× ÀåºñÀÎ À̸ÓÀü ½ÉÀڿܼ±(DUV) Ãß°¡ ¹ÝÀÔ Á¦ÇÑÀ» ½Ã»çÇÑ Á¡µµ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. À̸ÓÀü DUV´Â ºÒȾƸ£°ï(ArF) ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇÏ´Â Àåºñ·Î, ÁÖ·Î ¸ÖƼÆÐÅÍ´× °øÁ¤¿¡ È°¿ëµÈ´Ù. ¸ÖƼÆÐÅÍ´×Àº ȸ·Î¸¦ ¿©·¯ ¹ø ³ª´©¾î ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î ³ë±¤ÇÏ´Â ±â¼ú·Î, ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ ±×¸± ¼ö ÀÖÁö¸¸ ¼öÀ²(¾çÇ° ºñÀ²)ÀÌ ¶³¾îÁö´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
¾÷°è¿Í Çа迡 µû¸£¸é À̸ÓÀü DUV ¹ÝÀÔÀÌ Á¦ÇÑµÇ¸é ³½µåÇ÷¡½Ãº¸´Ù´Â D·¥ »ç¾÷¿¡ ¾Ç¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´Ù. ³½µå´Â ´Ü¼ö°¡ ³ô¾Æ ÆÐÅÍ´× ´ÜÀ§°¡ Å©Áö¸¸, D·¥Àº ±×·¸Áö ¾Ê¾Æ 10§¬(³ª³ë¹ÌÅÍ¡¤10¾ï ºÐÀÇ 1 ¹ÌÅÍ) ÃʹݴëÀÇ ¹Ì¼¼ °øÁ¤À» À§ÇØ ¸ÖƼÆÐÅÍ´× ±â¼úÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. DUV´Â 7§¬ ÀÌ»ó °øÁ¤¿¡¼´Â ¿©ÀüÈ÷ È°¿ëµµ°¡ ³ôÀº Àåºñ´Ù. ´Ù¸¸ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº´Â Áö³ÇØ 10¿ù Áß±¹ ³» »ç¾÷°ü·ÃÇØ "°ËÁõµÈ ÃÖÁ¾ »ç¿ëÀÚ(VEU)" ÀÚ°ÝÀ» È®º¸Ç߱⠶§¹®¿¡ ¹Ì±¹ÀÌ ¸ÖƼÆÐÅÍ´× Ãß°¡ Á¦À縦 Áß±¹¿¡ °¡ÇÏ´õ¶óµµ Á¦Àç ´ë»ó¿¡¼ ºüÁú ¼ö ÀÖ´Ù´Â °üÃøµµ ³ª¿Â´Ù.
À̸ÓÀü DUV Á¦Àç°¡ Áß±¹ ÆÄ¿îµå¸® ±â¾÷ SMIC(ñéä¥ÏÐ𷡤Á߽űÅÁö) µîÀ» °Ü³ÉÇÑ Á¤Ã¥ÀÎ »ç½Çµµ ¾÷°è¸¦ ±äÀåÇÏ°Ô ¸¸µå´Â ¿ä¼Ò´Ù. Áß±¹ È¿þÀÌ Ä¨À» À§Å¹»ý»êÇÏ´Â SMIC°¡ 7§¬ ÀÌÇÏ °øÁ¤¿¡ ¼º°øÇÑ °Íµµ ÀÌ Àåºñ ´öºÐÀ̾ú´Ù. 7§¬ ÀÌÇÏ °øÁ¤Àº ³×´ú¶õµå ASMLÀÌ »ý»êÇÏ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) Àåºñ ¾øÀÌ´Â ±¸ÇöÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù°í ¾Ë·ÁÁ³´Âµ¥ Áß±¹ÀÌ DUV Àåºñ·Î Åë³äÀ» ²£´Ù. Áß±¹Àº ¹Ì±¹ÀÌ ASML EUV Àåºñ ¹ÝÀÔÀ» ¸·À¸¸é¼ ¼öÀ²°ú ¼öÀͼºÀ» Æ÷±âÇÏ°í À̸ÓÀü DUV Àåºñ·Î 7§¬ ÀÌÇÏ °øÁ¤À» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹Ì±¹ÀÌ À̸ÓÀü Àåºñ ¹ÝÀÔ±îÁö ¸·°Ú´Ù°í ³ª¼´Â °ÍÀº Áß±¹ ÆÄ¿îµå¸®°¡ ´õ ÀÌ»ó ¹Ì±¹°ú µ¿¸Í±¹À» µû¶ó¿ÀÁö ¸øÇϵµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù´Â Àǵµ¸¦ ³ë°ñÀûÀ¸·Î µå·¯³½ °ÍÀÌ´Ù. Çѱ¹ ±â¾÷µµ Áß±¹ »ç¾÷À» ÇÒ ¶§ ÀÌ °°Àº Á¤Ã¥ ±âÁ¶¸¦ ÀǽÄÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "»ï¼º°ú SK°¡ Áö³ÇØ 10¿ù Áß±¹ ³» ¹ÝµµÃ¼ °øÀå¿¡¼ "°ËÁõµÈ ÃÖÁ¾ »ç¿ëÀÚ(VEU)" ÀÚ°ÝÀ» È®º¸ÇØ, VEU ¹üÀ§ ³»¿¡¼´Â Àåºñ ¾÷±×·¹À̵忡 ¹®Á¦°¡ ¾ø´Ù"¸ç "HBMÀ» ¼ÒºñÇÏ´Â ´ë´Ù¼öÀÇ ºòÅ×Å© ±â¾÷µéÀÌ Áß±¹ ¿ÜÀÇ ±â¾÷µé"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¡Ü ÁÖ½ÄÀ¸·Î µ· ¹ú±î? ¿À´ÃÀÇ ¿î¼¼·Î È®ÀÎ
¡Ü ¹«Á¶°Ç ¿À¸£´Â ºñ°ø°³ Á¾¸ñ '¹Ýµå½Ã' È®ÀÎÇϱâ(¹«·á üÇè)
¡Ü ÅÚ·¹±×·¥¿¡¸¸ ÀÖ´Â ºñ¹ÐÁ¤º¸? ¡°»ç¶÷µéÀÌ ÅÚ·¹±×·¥ÀÌ ¸ô¸®´Â ÀÌÀ¯!¡±
[°ü·Ã±â»ç]
¢Ñ »ï¼ºÀüÀÚ, 7ÀÏ° Ç϶ô ÇàÁø¡¦½ÅÀú°¡ ±â·Ï[Ư¡ÁÖ]
¢Ñ [Ŭ¸¯ eÁ¾¸ñ]"»ï¼ºÀüÀÚ, ¸ñÇ¥°¡ ¡é¡¦3ºÐ±â ½ÇÀû ¿¹»óÄ¡ ÇÏȸ Àü¸Á"
¢Ñ »ï¼º±×·ìñ», ¾ù°¥¸° Èñºñ¡¦»ï¹Ù ½Å°í°¡ VS »ïÀü ÃÖÀú°¡
¢Ñ [Ư¡ÁÖ]»ï¼ºÀüÀÚ, ÀÓ¿ø ÁÖ½Ä ¸ÅÀÔ¿¡µµ Ç϶ô
¢Ñ ÅõÀÚ ¼º°øÀÇ ÇÙ½ÉÀº ±â¾÷ºÐ¼®! "CORE" ¹Ù·Î°¡±â
![](https://cwcontent.asiae.co.kr/amgimagelink/98/2023120109194586291A.jpg) ![](https://cwcontent.asiae.co.kr/amgimagelink/98/2024081314351961307A.jpg)
¹®Ã¤¼® ±âÀÚ chaeso@asiae.co.kr
<¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
|